GB/T 14141-2009 Método de ensayo de la resistencia de lámina de capas epitaxiales, difusas e implantadas iónicamente de silicio mediante un conjunto colineal de cuatro sondas

Número estándar: GB/T 14141-2009
Chino:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
EspañolMétodo de ensayo de la resistencia de lámina de capas epitaxiales, difusas e implantadas iónicamente de silicio mediante un conjunto colineal de cuatro sondas

Fecha de entrada en vigor:2010-06-01
Autoridad Reguladora:Administración Nacional de Normalización de China
Autoridad Reguladora Emisora:Administración General de Supervisión de Calidad, Inspección y Cuarentena de la República Popular China,中国Administración Nacional de Normalización de China

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