GB/T 16879-1997 Directrices para la expresión de la precisión y exactitud de los equipos de escritura de máscaras

Número estándar: GB/T 16879-1997
Chino:掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
EspañolDirectrices para la expresión de la precisión y exactitud de los equipos de escritura de máscaras

Fecha de entrada en vigor:1998-03-01
Autoridad Reguladora:Administración Nacional de Normalización de China
Autoridad Reguladora Emisora:Oficina Estatal de Supervisión Técnica

Cumpre com normas internacionais:Y
Descargable en PDF:N

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