Número estándar: GB/T 34894-2017
Chino:微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
EspañolTecnología de sistemas microelectromecánicos-Método de medición del gradiente de deformación de microestructuras MEMS mediante interferómetro óptico
Fecha de entrada en vigor:2018-05-01
Autoridad Reguladora:Administración Nacional de Normalización de China
Autoridad Reguladora Emisora:Administración General de Supervisión de Calidad, Inspección y Cuarentena de la República Popular China,中国Administración Nacional de Normalización de China
Cumpre com normas internacionais:N
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