GB/T 40110-2021 Análisis químico de superficies-Determinación de la contaminación elemental superficial en obleas de silicio mediante espectroscopia de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)

Número estándar: GB/T 40110-2021
Chino:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
EspañolAnálisis químico de superficies-Determinación de la contaminación elemental superficial en obleas de silicio mediante espectroscopia de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)

Fecha de entrada en vigor:2021-12-01
Autoridad Reguladora:Administración Nacional de Normalización de China
Autoridad Reguladora Emisora:Administración Estatal de Supervisión y Administración del Mercado,中国Administración Nacional de Normalización de China

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