Número estándar: GB/T 41064-2021
Chino:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
EspañolAnálisis químico de superficies-Perfil de profundidad-Método para la determinación de la velocidad de sputter en espectroscopia de fotoelectrones de rayos X, espectroscopia de electrones Auger y espectrometría de masas de iones secundarios Perfil de profundidad de sputter utilizando películas finas monocapa y multicapa.
Fecha de entrada en vigor:2022-07-01
Autoridad Reguladora:Administración Nacional de Normalización de China
Autoridad Reguladora Emisora:Administración Estatal de Supervisión y Administración del Mercado,中国Administración Nacional de Normalización de China
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