Número estándar: SJ/T 10627-1995(SJ/T10627-1995)
Chino:通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
Español:Caracterización de las propiedades de deposición de oxígeno en obleas mediante la medición de la reducción del contenido de oxígeno intersticial
Fecha de entrada en vigor:1995-10-01
Alcance estándar:
Descargable en PDF: N
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