Número estándar: SJ/T 11761-2020(SJ/T11761-2020)
Chino:200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
Español:Especificación del puerto de carga para equipos semiconductores para obleas de 200 mm e inferiores
Fecha de entrada en vigor:2021-04-01
Alcance estándar:
Descargable en PDF: N
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