Número estándar: YS/T 1025-2015(YS/T1025-2015)
Chino:电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
Español:Cátodos para sputtering de wolframio y aleaciones de wolframio de gran pureza para películas electrónicas
Fecha de entrada en vigor:2015-10-01
Alcance estándar:Esta norma se aplica a los cátodos para sputtering de wolframio y aleaciones de wolframio de gran pureza para películas finas electrónicas, en lo sucesivo denominados cátodos de wolframio y aleaciones de wolframio de gran pureza.
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