Número estándar: YS/T 15-2015(YS/T15-2015)
Chino:硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
Español:Determinación del espesor de capas epitaxiales y de difusión de silicio mediante el método de tinción de ángulo de esmerilado
Fecha de entrada en vigor:2015-10-01
Alcance estándar:Esta norma se aplica a la capa epitaxial y la capa de difusión y el tipo conductor del sustrato es diferente o dos capas de diferencia de resistividad de al menos un orden de magnitud arbitraria resistividad de la capa epitaxial de silicio y la medición del espesor de la capa de difusión, el rango de medición: 1μm ~ 100μm.
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